成本一般由六个方面构成：

　　1、仪器的折旧费;

　　2、仪器的维护费用;

　　3、和ICP-MS配套设备(或称附属设施)的费用;

　　4、水、电以及工作气体费用，对ICPMS而言即为氩气、氦气、氢气、氨气、甲烷等等;

　　5、试剂费用;

　　6、人力成本;

　　以上六方面当中，仅有“试剂的费用”项和每工作日样品数量关系不是很大，其他项目均与日均测试样品数量紧密相关。换句话说，如果每工作日测试样品数量越多，这些项目的平摊成本就越低。